電子生產(chǎn)企業(yè)涉及子系統較多,為互通全廠(chǎng)信息、提升整體管理績(jì)效、簡(jiǎn)化運轉維護困難度、降低管理成本,用更可靠更經(jīng)濟的方案提供全天候的運行與關(guān)鍵系統的控制,將廠(chǎng)務(wù)設施各系統的監控資料利用Ethernet、控制器、通訊設備等形成全廠(chǎng)監控,并與子系統無(wú)縫集成。
系統具有各層次的監控與控制功能,監控著(zhù)各子系統,子系統主要包括:潔凈室、空調、超純水、污水處理、化學(xué)品供應、真空系統、動(dòng)力中心、壓力系統以及電力與生命安全系統等
廠(chǎng)務(wù)監控功能概要:
常見(jiàn)系統結構圖